电容式传感器宽泛用于角度、位移、液位等参数的精确丈量。电容式传感器拥有活络度高、精度高的利益，但这些利益都与传感器的正确设计、正确选材和精密加工技术有关。然而，还该把稳以下影响电容式传感器精度的成分。

1.温度对结构尺寸的影响。

环境温度的变动会引起电容式传感器各元件的设定尺寸和相互地位的变动，这将导致电容式传感器的额表温度误差，出格是在检测间隙变动的电容式传感器中，由于其初始间隙极度幼。

2.温度对介电常数的影响。

电容传感器的电容值与介质的介电常数成正比。因而，对于介电常数温度系数不为零的传感器，温度的变动必然会导致传感器电容值的变动，从而造成额表的温度误差。

3.泄漏电阻的影响。

电容式传感器的容性阻抗极度高，尤其是激励频率较低时。当两极之间的总泄漏电阻与容抗相近时，必须思考分流作用对整个系统总活络度的影响，这样会降低传感器的活络度。

4.边缘效应和寄生参数。

边缘效应使设计和推算变得复杂，产生非线性并降低传感器的活络度。解除和还原的步骤是在结构上加一个；さ缂，必须取与备用；さ缂谎牡缥，并尽量使其与地电位一样。

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