科学技术人员知路，在液体和气体等丈量介质的压力和温度的同点丈量、宇宙飞船、飞机、高速列车、箭(导弹)、核反映堆等特殊丈量环境下，丈量的靠得住性要求极度沉要。但现有传感器不仅在造作精度上，更沉要的是在大加快度、高温、强辐射、强振动等恶劣前提下，远远不能满足丈量靠得住性的要求。好多专业人士，毕生都在追求美满解决上述问题的步骤。幸运的是，在此刻的世界里，高纯度的三氧化铝(Al2O3)γ单晶体，即莫氏硬度达到9.0，响应频率达到5×1018Hz的蓝宝石单晶体，成为造作力敏感和热敏感传感器的梦想和险些美满的高弹性高温晶体。单晶硅能够表延成长，与钛、白金等金属容易亲和，热膨胀系数在-196℃~400℃的温度区域内，与钛和绝大无数钛合金极度一致。这便于造作传感器的高尺度封关操作。但是，在结构设计和技术造作方面仍有好多难题和难题。针对现有硅蓝宝石力敏传感器的加工技术比力复杂等难以克服的问题，利用现代加工伎俩和新的思想步骤，造作适合高温丈量的硅蓝宝石力敏传感器，该造作技术以单晶硅胶膜的蓝宝石晶片表延成长，以静电封接或分子键步骤封接钛合金应力杯，以钛合金应力杯对称中心为基准，激光刻出硅应变电阻，硅应变电阻的白金盘用金属弹性触头衔接引线，封装衔接表部引线该传感器解决了耐温等问题，但触头在强振动和大加快度下容易磨损和故障。同时，压力和温度的同点丈量问题无法解决。为相识决同点丈量问题，人们试图将压力传感器与温度传感器归并绑缚，例如将Pt100铂温度传感器与压力传感器绑缚在一路。但是，体积大，占有空间多的结构不紧凑，测和善测压点分离的测温原件和丈量点有间隙，测温容易滞后或丈量不正确。粘合剂等介质粘接温度传感器，会带来漏电，出格是高温漏电，温度系数不一致，有可能产生故障的引线难以处置，通常不抗振动和不抗大加快度适应温度不及的绝缘问题难以解决，表引线不固定，抗振强度不及等。因而，现有传感器远远不能满足同点丈量和恶劣前提下丈量的高靠得住性要求。

钻研主张是提供高温压力和温度的复合传感器和造备步骤，解决了现有技术存在的不能满足同点丈量压力和温度的高靠得住性问题，不仅保留了现有硅蓝宝石力传感器的利益，并且与同类产品相比，造作技术合理，操作快，相对成本低，出产效能高

选取的技术规划是，该高温压力和温度的复合传感器蕴含使用静电封接或分子键结合的蓝宝石晶体和钛合金应力杯、引线和钛合金表壳，其技术重点是以钛合金应力杯对称轴中心定位，在应力区造作硅应变电阻和铂合金焊盘的统一蓝宝石晶体上的非应力区域设置白金热电阻，在钛合金应力杯上焊接迪胙固定爪的内腔使用银铜焊层封接带印刷电路的绝缘引线转换板，作为引线的金属箔一端焊接在与硅应变电阻和白金热电阻相衔接的白金焊盘的另一端，由于绝缘引线的转换板的绝缘。

所述绝缘导线转换板的印刷电路是首先预造绝缘导线转换板，而后将该绝缘导线转换板的导线、穿线孔和钛固定爪密封表表，均进行钨钼金属化厚膜技术处置，在钨钼金属化膜层印刷钯银导线浆料，在真空、900℃烧结，绝缘导线焊盘、穿线孔、导线

高温压力和温度复合传感器的造备步骤蕴含以下钻研步骤：

光刻蓝宝石晶片上的内引线白金焊盘窗口。

将表延单晶硅的蓝宝石晶片以高温湿法氧化硅表表形成致密的SiO2层钛合金应力杯内径作为应力区定位，凭据设计要求，在预约区域造作硅应变电阻的内引线白金焊盘的地位和在非应力区域的一角造作白金热电阻和内引线白金焊盘的地位，雕镂出适合造作白金热电阻和内引线白金焊盘的蓝宝石表表

口罩溅射白金，造作硅应变电阻内引线白金焊盘和白金热敏电阻的白金层及其内引线白金焊盘；

将蓝宝石晶片封装在钛合金应力杯上；

将白金焊盘和白金热电阻飞溅的蓝宝石晶片切片，在400℃的温度下，在高真空环境中，参与2000V.DC电场，将蓝宝石晶片蓝宝石面封在钛合金应力杯上；

以钛合金应力杯对称轴中心定位，用激光刻印阻止。

激光刻印机以钛合金应力杯对称轴中心定位，确定应力区和非应力区，平坦蓝宝石晶片的有内引线白金焊盘面，定位，首先在应力区按单晶硅晶对刻印硅应变电阻，衔接硅应变电阻的内引线白金焊盘，造作惠斯顿桥

将绝缘导线转换板定位到钛合金应力杯的底座；

首先预造绝缘引线转换板，在绝缘引线转换板的引线、穿线孔和钛固定爪的封面上，造作所有钨钼金属化膜的真空、900℃的高温下，在绝缘引线转换板的钨钼金属化膜层上造作钯银引线焊盘和引线层，造作印刷电路的印刷电路的绝缘引线转换板，在真空、700℃下，用银铜焊接层衔接钛固定爪，表引线通过线孔焊接绝缘引线转换板

作为内引线金属箔的另一端焊接到白金焊盘上，焊接钛合金表壳，测试检定，成为高温压力和温度的复合传感器。

本钻研的利益和积极成效是，本钻研基于硅蓝宝石力敏传感器及其造备步骤，在统一蓝宝石晶体片上造作丈量高温介质的硅压力和白金温度的复合传感器，保留了现有硅蓝宝石力敏传感器的利益，扩大了传感器的新职能，解决了现有技术存在的同点丈量压力和温度的高靠得住性问题。在统一蓝宝石晶片上造作丈量压力(力)的单晶硅应变电阻桥和白金热电阻的白金热电阻在造作过程中已经有专利的硅蓝宝石力敏感传感器和造备技术，造作应变电阻的技术过程齐全兼容的金属箔包办弹性金属触头，拥有剪怯注拉伸、无应力，在实现高温的同时，在实现强振动和强加快度的表引线点焊或焊接到引线转换板上，拥有固定点、拉伸。与同类产品相比，拥有造作工艺更合理、操作快、造作成本低、出产效能高的特点。因而，在恶劣前提下丈量的靠得住性和推广利用显着提高。

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